薄膜・表面改質事業

SOLO

技術情報

SOLOとは

大面積電子ビーム加工装置を改良し、高い繰り返しでのパルス電子ビームの照射を可能にした装置です。φ50mmの大面積に、高いエネルギー密度を加えることが可能で、金属を瞬時に融解、昇華させることが可能です。

SOLOの用途

超硬の表面仕上げ、超硬表層部のCoバインダーの銅への置換、 表層アニーリング

SOLO販売

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SOLOの応用例

超硬金型の耐摩耗性
の向上、長寿命化Coのバインダーを取り除いた後の超硬金型に、本装置で銅を気化させて浸含することで、炭化タングステンが剥がれにくくなり耐摩耗性があがり、摩擦係数も低減する。

超硬金型の表面仕上げ
大電流電子ビームで超硬表面を溶解させ、凝固する際に表面粗さが低減する。

SOLOの仕様

ビーム電流値 20~300A
平均電子エネルギー 5~25keV
パルス幅 50~200μs
パルスの繰り返し 0.3~20Hz
照射範囲 φ50mmV

カタログダウンロード:SOLO

大電流パルス電子源-SOLO-カタログPDF (220KB)

プラズマ窒化装置カタログPDF (188KB)

サポート:SOLO

サポートページ

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