DLCコーティング装置

技術情報

DLCとは

ダイヤモンド・ライク・カーボンと呼ばれる薄膜で、工具や金型、各種機械部品の表面に成膜を行うことにより、「良排出で溶着防止」「工具寿命の延長」「加工面仕上がりが向上」「歩留まりが3倍に向上」等のメリットがあります。
弊社DLCは、PVD法による水素を含有しない、水素フリーDLCで、sp3結合比率は約70%に達し、高硬度、密着性の良い膜となっております。

特性

1. 高硬度　マイクロビッカース硬度8000kgf/㎟以上
2. 低摩擦係数　摩擦係数0.1以下
3. 耐摩耗性　High wear-resistant
4. 低摩擦係数　成膜温度は室温から200℃の間を自由に設定できます。
5. 高熱伝道率　High thermal-conductivity

加工原理

1. イオンエッチング工程　基材の表面をガスイオンを用いて洗浄
2. チタンアーク工程　基材とDLC膜との密着性をもちいるため金属下地層を形成する
3. カーボン工程　DLC膜を形成する

装置販売

水素フリーのDLCコーティング装置につきましてのご質問やお見積もりのご依頼は下記からお問い合わせいただけます。

仕様

可能膜厚	0.005～2μm(標準 1μm)
処理温度	室温～200℃
硬度	Hv 6000～8000
摩擦係数	0.2以下
有効コーティング容積	Φ600×高さ600mm

受託処理

永田精機薄膜事業では水素フリーのDLCコーティングの装置販売だけでなく、受託処理も行なっております。
「耐摩耗性」「高硬度」「低摩擦係数」「工具寿命の延長」等用途は様々です。お気軽にお問い合わせください。

応用例

1. 金型　絞り、プレス、パンチ
2. 工具　エンドミル、リーマ、ドリル
3. 機械部品　摺動部品一般

カタログダウンロード：DLCコーティング装置

DLCコーティング装置カタログPDF （256KB）

サポート：DLCコーティング装置

サポートページ